本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区、GB/T 25915.7所述的隔离装置中的空气洁净度等级。
本文件适用于粒径挡下限为0.1 μm~5 μm的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。
超细粒子(<0.1 μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点,规定使用光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子(>5 μm)的粒子浓度,用M描述符对其量化。
本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。
GB/T 25915的本部分规定了对洁净室或洁净区进行定期检测的要求,以证明其持续符合GB/T 25915.1 中规定的空气悬浮粒子浓度等级。
这些要求包括GB/T 25915.1说明的洁净室或洁净区的分级检测。此外,还规定了按本部分要求实施的其他检测项目。可按用户要求实施的可选检测项目,本部分也做了说明。
本部分还规定了对洁净室或洁净区(以下简称“设施”)进行监测的要求,以提供其持续符合GB/T 25915.1 中规定的空气悬浮粒子浓度等级的证据。
B/T 25915的本部分划分洁净室及相关受控环境的空气洁净度等级仅依据其内的空气悬浮粒子浓度,该浓度系指粒径大于或等于阈值(低限)粒径的粒子总数,规定的阈值(低限)粒径为0.1 μm~5 μm。
本部分未设立0.1 μm~5 μm规定粒径以外粒子总数的洁净度等级。但可以用U描述符和M描述符,分别表述超微粒子(<0.1 μm)和大粒子(>5 μm)的总数。
本部分不能用于描述空气悬浮粒子的物理、化学、放射性或存活特性。
注: 大于或等于某粒径的粒子浓度实际分布一般难以预测,且通常是随时间变化的。