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本文件及GB/T 40344.1描述了涡轮分子泵的性能测量方法,适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括:
——带机械轴承或磁轴承的;
——带/不带附加牵引级或其他转子抽气级的;
——带一个或多个进气口的。
由于涡轮分子泵有前级泵支持,体积流率-入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能。同时,涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数。
下列内容用以补充确定其性能参数:
——涡轮分子泵的流量和前级压力;
——压缩比曲线(涡轮分子泵的压缩比-前级压力)。
本文件确立了皮拉尼真空计的参数,描述了其校准步骤,规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。
本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa~150 kPa的皮拉尼真空计。
当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时,本文件是对ISO 3567和ISO 27893的补充。
另外,本文件还描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。
本文件界定了磁悬浮转子真空计(SRG)[2]-[4]相关的术语,规定了SRG所需参数,详细描述了在使 用这些真空计时的校准步骤和所需不确定度分量。本文件适用的压力上限为2 Pa。