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本文件描述了碳化硅中主要化学成分的分析方法。
本文件适用于碳化硅含量不小于95％（质量分数)的磨料及结晶块中表面碳（游离碳)、二氧化硅、表面硅（游离硅)、酸处理失量、铁、铝、钙、镁、总碳和碳化硅等化学成分的分析活动。
本文件规定了半导体晶圆精密磨削用砂轮的产品分类、产品标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体晶圆边缘倒角精密磨削和端面减薄精密磨削用金属结合剂、树脂结合剂和陶瓷结合剂及其复合结合剂金刚石砂轮。
本标准规定了碳化硅磨料及结晶块中二氧化硅、游离硅、游离碳、酸处理失量、总碳、碳化硅、三氧化二铁、三氧化二铝、氧化钙、氧化镁的测定方法。本标准适用于碳化硅含量不小于95%的磨料及结晶块的化学成分测定。
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