本文件提供了在表面化学分析前生物材料样品的处理、安装和表面处理方法的指导。其目的是帮助分析人员了解在进行分析时，使用如下技术对特殊样品处理所需的条件：
——X射线光电子能谱(XPS)或化学分析电子能谱 (ESCA)；
——二次离子质谱 (SIMS)；
——俄歇电子能谱(AES)。
所提出的方法也适用于其他对表面组成分析灵敏的技术，如：
——衰减全反射傅里叶变换红外光谱 (ATR-FTIR)；
——全反射X射线荧光光谱(TXRF)；
——紫外光电子能谱 (UPS)。
本文件阐述了所用真空条件的影响和检测前后及植入前后的污染问题，以及在检测过程中与污染相关的问题。这里的生物材料包括硬质和软质，如金属、陶瓷、支架和聚合物。
本文件不包括诸如细胞、组织和生物体等活体生物材料。本文件中不涵盖的其他相关主题还包括电子显微镜或光学显微镜的样品制备。

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本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。
本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。

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本文件详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×1016 atoms/cm3～1×1020 atoms/cm3。

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本文件规定了X射线光电子能谱(XPS)分析中，由X射线辐照导致试样元素组成或化学态的非预期性损伤的识别、评估和校正方法的要求。
本文件仅适用于X射线引起的非预期性损伤，导致光电子谱峰强度的降低或增加小于30%。本文件不涉及不同类型材料之间的比较，也不涉及发生损伤的机制、深度或化学性质。

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本文件描述了在常规分析条件下从特定样品获得的X射线光电子能谱(XPS)数据中评估元素检测限并给出报告的程序。本文件适用于均匀材料，对XPS信息深度内元素深度分布不均匀的材料不适用。

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本文件描述了在单离子计数飞行时间二次离子质谱仪中，通过测量基于聚四氟乙烯（PTFE）质谱中的同位素比值，从而确定强度标线性偏差可接受限的最大计数率的方法。本文件还包括校正强度非线性的方法，强度的非线性是由在死时间内到达微通道板（MCP）或闪烁体和光电倍增器随后进入时间数字转换器（TDC）的二次离子强度损失引起的。该校正可将95％线性的强度范围增加到50倍以上，因此对于那些已证实相关校正公式有效的质谱仪，可以采用更高的最大计数率。

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本文件规定了X射线光电子能谱（XPS）的一般表面分析方法的通用要求。
本文件界定了XPS相关的表面化学分析术语。
本文件适用于X射线光电子能谱仪。

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本文件界定了分析化学中基础化学、抽样与前处理、化学分析、电化学分析、光谱分析、色谱分析、质谱分析、核磁共振波谱分析、热分析、数据处理类的术语和定义。
本文件适用于分析化学标准、技术文件、书刊的编写与应用。

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